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真空等離子清洗機(jī)的原理是什么?

更新時(shí)間:2023-03-03點(diǎn)擊次數(shù):1729
   真空等離子清洗機(jī)是利用低壓氣體輝光等離子體。一些非聚合性無(wú)機(jī)氣體(Ar2、N2、H2、O2等)在高頻低壓下被激發(fā),產(chǎn)生含有離子,通過等離子體的“活性”組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。在真空腔體里,給一組電極施以射頻電壓(頻率約為幾十兆赫茲),電極之間形成高頻交變電場(chǎng),區(qū)域內(nèi)氣體在交變電場(chǎng)的激蕩下,產(chǎn)生高能量的無(wú)序的等離子體,活性等離子對(duì)被清洗物進(jìn)行表面物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用,使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì),經(jīng)過抽真空排出,以達(dá)到清洗、活化、接枝等目的。
  真空等離子清洗機(jī)技術(shù)優(yōu)勢(shì):
  1)清洗對(duì)象經(jīng)等離子處理后是干燥的,不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序;可以提高整個(gè)工藝流水線的處理效率;
  2)采用無(wú)線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體的特點(diǎn)是方向性不強(qiáng),這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成常規(guī)清洗不能達(dá)到的清洗任務(wù),能很好處理難清洗部位。
  3)等離子技術(shù),不需要對(duì)清洗液的運(yùn)輸、存儲(chǔ)、排放等處理措施,所以生產(chǎn)場(chǎng)地很容易保持清潔衛(wèi)生,體現(xiàn)設(shè)備高度環(huán)保性
  4)安全性能強(qiáng),等離子清洗技術(shù)避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑,這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物,因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法,使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害,同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問題
  5)在真空等離子清洗技術(shù)還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤(rùn)濕性能、改善膜的黏著力等,這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。
  6)真空等離子清洗技術(shù)不分處理對(duì)象,它可以處理各種各樣的材質(zhì),無(wú)論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物,還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物)都可以使用等離子體來(lái)處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗。
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